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离子注入与热扩散法制备光波导的研究
论文摘要集成光学和光通信技术已经成为当代迅猛发展的综合性技术领域。光波导作为集成光路的最基本组成单元在现代光通信领域具有十分重要的用途。它能将光波束缚在微米量级尺寸的介质中长距...