平面上球形粒子论文

平面上小球光散射计算及可视化研究
论文摘要缺陷及其所带来的影响是IC芯片失效的主要原因。为提高激光探测系统对晶片上微粒缺陷的检测能力，本文建立了平面上球形粒子的数理模型，通过对此模型下的散射理论研究和散射场数据...