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光学镜面离子束加工材料去除机理与基本工艺研究
论文摘要光学系统性能要求随着科技的发展不断提高,观测系统、激光系统、光刻投影系统等技术的发展,对光学零件的需求激增,且技术要求较传统光学零件也有很大提升,突出体现在对大口径、大...