强介电材料论文

强介电材料Si-MOS电容特性和光电性质研究
论文摘要强介电材料一般为铁电体,其体材料具有非常大的介电常数（几百到几千）,其多晶薄膜的介电常数也能达到100以上,居里温度和介电性能可通过元素组分比来调制。随着微电子集成技术...