强流氧离子注入机论文

强流氧离子注入机高温旋转扫描靶的研究
论文摘要SOI(SiliconOnInsulator)是指绝缘材料上的硅,它能突破体硅及其集成电路的限制,在超大规模集成电路、光电子等领域有着广阔的应用前景。被国际上公认为是“...