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超磁致伸缩精密位移驱动器的热分析与控制
论文摘要高精度和高分辨率的超精密工作台在近代尖端工业生产和科学研究领域具有极为重要的地位和广泛的应用前景。超磁致伸缩精密位移驱动器(GMA)是利用磁致伸缩棒的轴向磁致伸缩效应实...