前馈补偿解偶论文

单晶炉自动控制系统的设计
论文摘要在单晶硅生产过程中,硅片的直径大小和晶体生长过程的自动化程度,对生产效率和产品质量有很大的影响。为此,本课题以TDR-120型单晶炉的开发背景,解决了晶体生长过程中直径...