前馈跟踪论文

直拉单晶炉生长系统模型预测控制方法研究
论文摘要晶体生长的主要目的是生长出外形均匀且内部品质满足要求的单晶体。在直拉法晶体生长过程中,主要是通过调节提拉速度和加热器温度跟踪目标曲线来实现晶体等径生长的。本文通过对晶体...