嵌套式稀疏网格论文

基于嵌套式稀疏网格随机配置法的集成电路建模与模拟算法研究
论文摘要半导体工业的进步依赖于不断缩小的特征尺寸以及由此获得的器件性能的快速提高和芯片集成度的指数增长。当集成电路特征尺寸到了纳米时代以后,由于亚波长光刻和化学机械抛光等复杂工...