器壁条件论文

感应耦合等离子体器壁条件与等离子体参数的关系
论文摘要本文目的为研究感应耦合等离子体(ICP)的器壁条件与等离子体参数之间的关系。器壁条件改变的两种方式为改变器壁尺寸和在器壁上沉积/清洗聚合物膜。我们用Langmuir探针...