气氛退火论文

论文摘要本研究工作采用两种方法制备氮掺杂二氧化钛薄膜，并且对氮掺杂和纯TiO2薄膜的性能进行对比研究。1、采用陶瓷TiO2靶，通过射频磁控溅射制备TiO2薄膜，然后对制备的薄膜...