气浮导轨论文

一种基于复合节流的气浮直线运动基准设计方法
论文摘要直线度测量是几何量测量领域中最基本、最重要的内容之一。它同时也是平面度、平行度、垂直度、同轴度等几何量测量的基础。气体润滑技术是实现超精密运动基准的主要手段,是超精加工...