气浮支撑论文

极紫外光刻机工件台动力学建模及仿真
论文摘要工件台系统是极紫外光刻(EUV)的一个关键子系统。极紫外光刻机采用步进扫描曝光方式,成像质量不仅取决于光学系统的质量,还取决于工件台的动态定位,因此工件台系统机械结构的...