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基于负载/源牵引法的微波大功率自动测试系统的
论文摘要随着半导体器件的迅速发展,半导体器件的计量测试在器件的研制和应用中占有重要的地位。通过各种工艺制成的器件,最终检验其性能的优劣就是通过对器件的参数测试来完成的。在器件的...