器件尺寸缩小论文

先进分栅闪存器件集成制造的整合与优化
论文摘要集成电路制造是一门以微电子学为基础、涉及众多领域的新兴交叉学科。如何有效地对上千道复杂工序进行整合与优化，从而保证集成电路芯片的顺利生产是一个学术价值与市场价值兼备的课...