气路控制系统论文

MOCVD设备气体输运与加热控制系统设计
论文摘要随着半导体技术的不断发展,半导体材料得到了广泛的使用,尤其是宽禁带的Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料在发光二极管、激光器、光探测器和大功率电子器件等方面都有着很好的应...