气密封装论文

原子钟碱金属蒸汽腔制作设备研制与工艺研究
论文摘要原子钟是通过原子基态的超精细能级间的跃迁辐射频率来实现精确计时的工具。基于CPT（CoherentPopulationTrapping）现象的微型原子钟是原子钟微型化发...
MEMS器件真空封装的研究
论文摘要MEMS器件不同于集成电路的典型特征是具有传感、致动、三维结构、功能多样性,使得MEMS封装技术更具挑战性,成为MEMS器件走向市场应用的一个技术瓶颈,其中真空封装技术...