气密性封装论文

论文题目:MEMS原子钟理论、设计及Cs/Rb气体盒气密性封装研究论文类型:硕士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:刘玉菲导师:吴亚明关键词:芯片级原子钟,低温键合,气密性...