气膜阻尼论文

微结构的静电驱动特性研究
论文摘要静电力作为微机电系统（MEMS）中一种重要的驱动力,广泛应用于微镜、微泵、微马达、微陀螺、微钳、微谐振器、射频开关等微器件中。尽管一部分静电驱动MEMS产品已经从实验室...