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不同表面端基掺硼金刚石薄膜的微观结构及性能
论文摘要掺硼金刚石薄膜具有优异的物理、化学性能,非常适合制作高频、高温、大功率电子元件和电化学元件。氢端基和氧端基薄膜表现出完全不同的电学和电化学性能,直接影响着所制造元件的质...