氢钝化论文

氢钝化对nc-Si/SiO2超晶格发光特性的影响
论文摘要超大规模集成技术的日益发展迫切需要研制硅基发光器件，以实现未来微型高速计算机芯片之间的光互联。晶体硅由于是间接带隙材料，其带间辐射复合效应非常低，难于达到发光器件的要求...