氢化非晶硅薄膜论文

论文摘要本文采用自制的等离子体化学气相沉积多功能系统,分别使用电感耦合等离子体源和脉冲辉光等离子体源制备出了质量较好的氢化非晶硅薄膜和类金刚石薄膜（氢化非晶碳薄膜的一种）与平面...

论文摘要非晶硅（a-Si）与晶态硅的结构差异,使非晶硅具有特殊的光学、电学性质,并且呈现出了巨大的应用前景。但是由于它含有大量的缺陷态,使其在实际应用方面受到了限制。对于氢化非...

论文题目:高速沉积大面积均匀氢化非晶硅薄膜及其优异的光电特性的研究论文类型:博士论文论文专业:材料物理与化学作者:胡跃辉导师:陈光华关键词:氢化非晶硅薄膜,沉积系统,光电特性文...