氢化硅薄膜论文

氢化硅薄膜的制备、特性及器件研究
论文摘要氢化硅薄膜由于在红外成像传感器、太阳能电池及薄膜晶体管等微电子器件中有着广泛应用前景而备受关注。等离子体化学气相沉积技术制备氢化硅薄膜工艺条件成熟稳定而成为薄膜制备的首...