倾斜误差补偿论文

论文摘要MEMS力学特性测试及可靠性分析在MEMS的研发和产业化过程中具有极为重要的意义,而力学特性测试又是进行可靠性分析的基础。本论文在调研和分析了MEMS力学特性测试技术及...