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气体挤压膜悬浮平台的性能分析
论文摘要气体挤压膜悬浮平台是利用压电陶瓷晶体沿法线方向的高频振动,使压电陶瓷晶体与被支承面之间的气体不断受到挤压,从而形成压力气膜,产生承载能力的支承元件。此平台具有摩擦小,无...