球面光栅论文

球面衍射光栅传感器信号处理系统的研究
论文摘要近年来表面测量向着大量程、高分辨率的方向发展。随着技术的发展,迫切需要研制出适用于大量程测量的表面测量仪,将激光、光栅干涉技术与传统的触针测量技术相结合,充分利用触针式...