球面金刚石厚膜论文

球面金刚石厚膜制备技术研究
论文摘要采用直流等离子体喷射化学气相沉积法(DCArcPlasmaJetCVD,DCPCVD)生长了球面金刚石厚膜,研究了DCPCVD法制备过程中生长工艺参数对高密度成核及膜厚...