汽相掺杂论文

硅单晶汽相掺杂技术的研究
论文摘要区熔(FZ)硅单晶是制作电力电子器件的主要原材料,产量大约占整个硅片市场6%～8%。高质量的电力电子器件的发展对区熔硅单晶的高完整性、高纯度、高均匀性及大直径化提出了要...