气相外延论文

论文题目:厚膜SOI材料和SiGeOI材料制备研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:程新利导师:邹世昌,张峰关键词:厚膜绝缘体上的硅,绝缘体上的锗硅,注氧隔...