气压传感器论文

基于ARM的微热板式气压传感器测试仪的研制
论文摘要随着微电子和微机械加工技术的发展,研制尺寸小、重量轻、功耗低、响应快且易与IC（IntegratedCircuit）集成的微热板式气压传感器成为可能并受到重视。在国内,...
适用于SOC式微气压测试仪的基础研究
论文摘要微气压传感器广泛应用于化工、航天、食品加工、半导体加工、电子封装以及科学研究等领域。随着MEMS（MicroElectro-MechanicalSystems）技术和I...