全对称结构论文

全对称双级解耦微机械振动式陀螺研究
论文摘要本文在建立全对称双级解耦微机械振动式陀螺理论模型的基础上,系统研究了器件的动力学特性。提出一种新颖的全对称双级解耦微机械振动式陀螺仪结构,利用体硅微机械加工技术实现了敏...