全息光刻论文

磁性微结构的制作及其特性研究
论文摘要由于在超高密度磁存储技术、磁阻传感器、磁随机存储器等诸多方面有着广泛的应用前景,微米、纳米磁性单元阵列最近吸引了越来越多的兴趣。目前,磁性单元研究包括微米、亚微米以及纳...
软X射线透射光栅制作
论文摘要作为X射线波段的一种重要色散元件,金透射光栅主要用于激光惯性约束核聚变(ICF)实验中的等离子体诊断,以及X射线天体物理研究的高能透射光栅光谱仪中。使用全息光刻技术制作...