去除速率论文

光学表面等离子体加工机理研究
论文摘要随着光学领域及其相关技术的发展,尤其是短波段光学和强激光技术的发展,要求光学元件表面粗糙度小于lnm,并且无表面及亚表面的损伤。等离子体加工是目前能够获得超光滑表面的一...