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p型透明导电薄膜及其二极管的研究
论文摘要本文采用固态反应法成功制备了SrCu2O2、CuAlO2和CuFeO2的陶瓷靶材,并首次使用渠道火花烧蚀方法(ChannelSparkAblation,CSA)制备相应...
新型透明导电氧化物薄膜的研究
论文摘要本文采用直流磁控反应溅射金属镶嵌靶In/Mo和In/W制备高价态差掺钼氧化铟(In2O3:Mo,IMO)和掺钨氧化铟(In2O3:W,IWO)透明导电薄膜,详细研究了氧...