缺陷数据论文

面向半导体制造过程中的缺陷数据集成与分析
论文摘要针对半导体制造企业在晶圆的生产制造过程中产生的缺陷数据,研究和讨论如何进行企业信息集成；从需求分析、信息抽取、异构数据源集成、数据仓库建模和数据挖掘等各个环节研究与验证...