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压缩载荷下纳米尺度薄膜材料破坏机理的实验研究
论文摘要微尺度力学和MEMS系统中的低维材料性能研究是当今国际多学科交叉研究的热门课题。涉及力学问题有薄膜材料在残余应力和外载荷作用下的变形、应力、断裂和屈曲等。薄膜材料的力学...