绕度论文

与CMOS兼容的传感器技术
论文摘要压力传感器是应用极为广泛的一种传感器，集成化压阻式压力传感器的研究和开发拓宽了压力传感器的应用领域。目的是研究适用于集成化芯片系统的传感器技术，以获得适用于集成化芯片的...