热场分布论文

SIC晶体生长系统关键技术研究
论文摘要随着微电子技术的发展,传统基于Si和GaAs半导体材料器件由于本身结构和特性,在高温、高频、光电等方面越来越显示出其不足和局限性。其中SiC材料以其特有的大禁带宽度、高...