热氮化论文

纳米CMOS器件的新测量方法并用于可靠性的研究
论文摘要CMOS器件尺寸越来越小，栅介质厚度持续减小，负偏压温度不稳定性（NBTI）成为制约器件可靠性及寿命的最主要因素之一。然而，NBTI机理一直处于争论之中。其原因一方面源...