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热键合论文
热键合论文
基于等离子体技术的聚合物微纳流控芯片制作
论文摘要为了提高聚合物微流控芯片的集成度,往往需要在芯片上集成各种金属微电极。然而,电极在芯片热键合过程中常常发生断裂。本文首先对电极的断裂行为进行了研究。电极断裂的主要原因是...
LD端面泵浦Nd:YVO4/YVO4复合晶体激光特性的研究
论文摘要激光二极管(LD)泵浦的全固态激光器以高效率、结构紧凑、工作稳定、寿命长和全固化等特点,在材料加工、军事、医疗、科研等方面获得了日益广泛的应用,目前已成为国际上新型固体...