热解沉积论文

热解石墨栅极毛坯沉积工艺研究及应用
论文摘要本文首先对热解石墨材料的性能进行了讨论,并就其在大功率、超大功率电子管中的应用作了分析,指出了热解石墨作为栅极材料的优越性能;然后通过试验研究和讨论,获得了优化的石墨栅...