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刘冰:单晶硅脆塑转变临界厚度的原位实验论文
本文主要研究内容作者刘冰,徐宗伟,李蕊,何忠杜(2019)在《单晶硅脆塑转变临界厚度的原位实验》一文中研究指出:为提高单晶硅纳米切削表面质量的同时,不影响加工效率,以扫描电子显...