任意粒子论文

硅底表面单粒子光散射研究
论文摘要缺陷及其所带来的影响是IC芯片失效的主要原因。因此，在集成电路生产过程中迫切需要对晶圆表面质量进行严格的检测与控制，而激光缺陷检测是一种无损检测。为提高激光探测系统对晶...