热式气体流量传感器论文

微型热式气体流量传感器的稳态传热研究
论文摘要本课题对微型热式气体流量传感器的稳态传热进行了系统研究。首先对薄膜材料热导率测量方法进行研究,建立了薄膜-衬底复合结构传热模型,以该模型为基础将基于拉曼光谱的薄膜热导率...