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低介电常数多孔材料的热导率测量研究
论文摘要低介电常数材料在电子领域中具有很广泛的用途。使材料形成多孔结构是制备低介电常数材料的有效方法。通过增加多孔结构的孔隙率可以有效降低介电常数,然而随着孔隙率增加,热导率也...