热现象论文

二氧化硅CVD过程中的热现象研究
论文摘要化学气相沉积技术（CVD）是一种常见工艺,是通过气体间的化学反应制备新材料的过程,以满足某些新的性能。CVD技术也是石英玻璃生产、试验过程中所采用的重要方法之一。石英玻...