热阴极论文

直流热阴极辉光放电及高品质金刚石膜的制备
论文摘要直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积是我们建立的快速沉积高品质金刚石膜的新方法。为了解其工作特性、优化沉积工艺,本文研究了直流热阴极的工作特性和放电电流对热阴极辉光放...