• I/O PMOSFET热载流子损伤机理研究

    I/O PMOSFET热载流子损伤机理研究

    论文摘要本文对用于片上系统输入输出电路的PMOSFET热载流子损伤进行了研究。在前人理论研究的基础上,讨论了PMOSFET中热载流子损伤引起的栅氧化层缺陷,结合实验解释了局部热...