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强流脉冲离子束辐照砷化镓温度场的数值模拟
论文摘要强流脉冲离子束因其自身的诸多优越性,在材料领域里越来越受到重视。不同能量密度的束流因与靶作用效果不同而用来进行不同的研究目的,较低的能量可以直接用于改性,较高的能量既可...