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柔性基ZnO:Al透明导电薄膜材料的制备与性能研究
论文摘要本文采用射频磁控溅射法,首次在透明柔性聚合物TPT材料衬底上制备了掺铝氧化锌透明导电薄膜(ZAO),研究了关键工艺参数对薄膜结构及光电性能的影响,并与玻璃衬底上制备的Z...